반도체 공정의 혁신을 이끌 XR계열 분석 시스템, Rigaku XHEMIS TX-3000 출시

일본의 선도적인 X-ray 분석 시스템 기업인 Rigaku Corporation( 이하 “Rigaku”)이 최첨단 반도체 공정 분석을 위한 새로운 X-ray 분석 시스템, XHEMIS TX-3000을 출시했다. Rigaku Holdings Corporation (본사: 도쿄 아키시마, CEO: 준 카와카미)의 그룹 계열사인 Rigaku는 지난 30년간 축적된 기술력을 바탕으로 반도체 산업의 수요에 부응하는 최적의 솔루션을 제공할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

Rigaku XHEMIS TX-3000은 반도체 제조 공정 중 발생하는 다양한 문제점을 해결하고, 제품의 품질과 성능을 향상시키기 위한 핵심 분석 장비로, 특히 박막 증착, 패턴 형성, 불순물 분석 등의 공정에서 뛰어난 분석 성능을 제공한다. 새로운 시스템은 기존 제품 대비 분석 시간을 획기적으로 단축하고, 더욱 정확하고 신속한 데이터를 제공함으로써 반도체 제조 공정의 효율성을 극대화할 수 있다.

이번에 출시된 시스템은 Rigaku의 독자적인 XHEMIS (ZEMIS) 기술을 기반으로 하며, 고해상도 X-ray 빔과 정교한 데이터 처리 알고리즘을 결합하여 반도체 재료의 미세한 구조와 조성 변화를 정밀하게 분석할 수 있다. 특히, 시스템은 SEM (Scanning Electron Microscope)과 같은 기존 분석 장비의 한계를 보완하며, 반도체 단일 층의 조성과 불순물 함량 분석에 특화되어 있어 반도체 제조사들의 생산성 향상에 크게 기여할 것으로 전망된다.

Rigaku는 XHEMIS TX-3000을 통해 반도체 산업의 지속적인 기술 혁신을 지원하고, 고객의 경쟁력 강화에 기여할 수 있도록 최선을 다할 계획이다. 시스템에 대한 자세한 정보는 Rigaku의 공식 웹사이트 (www.rigaku.com)를 통해 확인할 수 있으며, 영국 옥스포드에 위치한 Rigaku의 유럽 지사를 통해 기술 지원 및 교육 프로그램도 제공될 예정이다.

Rigaku의 Jun Kawakami CEO는 “XHEMIS TX-3000은 반도체 산업의 진화하는 요구에 부응하는 최고의 분석 솔루션이며, Rigaku는 고객과 함께 미래 기술을 만들어 나가기 위해 최선을 다할 것입니다”라고 밝혔다. 시스템의 출시를 기념하여 Rigaku는 다음 달에 유럽 내 주요 반도체 제조 공장들을 대상으로 기술 시연회 및 워크숍을 개최할 예정이다. 또한, Rigaku는 XHEMIS TX-3000의 성능을 입증하기 위해 국제 X-ray 분석 컨퍼런스에 참가하여 시스템을 선보일 계획이다.