리가쿠, 최첨단 반도체 공정 지원 위한 X선 분석 시스템 ‘XHEMIS TX-3000’ 판매 시작

X선 분석 시스템의 글로벌 솔루션 파트너이자 리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)(본사: 도쿄도 아키시마; CEO: 준 카와카미(Jun Kawakami))의 그룹사인 리가쿠(Rigaku Corporation)가 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면의 미량 오염 분석을 지원하는 최첨단 전반사 X선 분석 시스템 ‘XHEMIS TX-3000’의 판매를 시작한다고 발표했다. 리가쿠는 수십 년간 축적된 X선 분석 기술을 바탕으로 반도체 산업의 품질 관리 및 공정 개선에 기여할 것으로 기대감을 높이고 있다.

‘XHEMIS TX-3000’은 반도체 웨이퍼 표면에 존재하는 미량 오염 물질을 빠르고 정확하게 분석하여, 불량 발생 가능성을 사전에 예측하고 대응할 수 있도록 돕는 시스템이다. 특히 반도체 제조 과정에서 발생하는 1, 2, 3단계 공정에서 웨이퍼 표면에 달라붙어 발생하는 불순물, 금속성 오염물질, 이온 등을 실시간으로 분석하여 웨이퍼의 품질을 보장하는 데 중요한 역할을 수행한다. 이 시스템은 엑셀레이터(Accelerated) X선 분석 기술을 기반으로, 웨이퍼의 균일한 샘플링을 통해 정확도를 높였으며, 운용 편의성을 극대화하여 사용자의 효율적인 분석을 지원한다.

리카구(Rigaku Corporation)는 1963년 설립 이후 꾸준한 연구 개발 투자를 통해 X선 분석 분야를 선도해 왔으며, 반도체, 제약, 화학 등 다양한 산업 분야에 걸쳐 혁신적인 솔루션을 제공해 왔다. 특히 반도체 산업에서는 엑셀레이터 X선 분석 기술을 바탕으로 수많은 성공 사례를 만들어냈으며, 고객 맞춤형 서비스와 기술 지원을 통해 고객 만족도를 높이는 데 주력하고 있다.

리카구 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)는 준 카와카미(Jun Kawakami) CEO의 리더십 아래, 지속적인 기술 혁신과 글로벌 시장 확대를 통해 X선 분석 분야의 글로벌 솔루션 파트너로서의 입지를 더욱 강화해 나갈 계획이다. 또한, 다양한 산업 분야의 고객들에게 최적의 솔루션을 제공하기 위해 연구 개발 역량 강화 및 고객 서비스 개선에도 지속적으로 투자할 예정이다.

‘XHEMIS TX-3000’ 시스템은 웨이퍼 표면의 미량 오염 분석을 통해 반도체 제조 공정의 안정성을 확보하고, 최종 제품의 품질을 향상시키는 데 기여할 것으로 기대된다. 리가쿠는 ‘XHEMIS TX-3000’ 시스템에 대한 문의는 리가쿠 한국 지사를 통해 접수할 수 있으며, 자세한 제품 정보 및 기술 지원은 리가쿠 홈페이지를 통해 확인할 수 있다.